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AZ管式爐有8個控溫區(qū)，在整個加熱長度內(nèi)獲得所需的溫度。
有8個控溫區(qū)，保溫材料厚實，加熱元件對稱分布，使得溫度均勻性能優(yōu)于±5°C。其主要優(yōu)點是有8個獨立的控溫區(qū)，使得均溫區(qū)可以延長。另外，控溫能十分精確，可實現(xiàn)線性升溫、峰值或其他溫度場。AZ管式爐的典型應(yīng)用是化學氣相沉積。化學氣相沉積需要有溫度梯度，物質(zhì)在溫度較高的一端氣化并在溫度較低的一端冷卻沉積在一片基底層上。所有的控溫區(qū)都由各個熱電偶獨立控溫和監(jiān)測溫度。
應(yīng)用實例
退火、晶體生長、干燥、蒸發(fā)、升華、合成
標準參數(shù)
結(jié)構(gòu)同FHA / FHC管式爐
8區(qū)控溫，滿足不同溫度場的需求
在加熱區(qū)間內(nèi)能形成溫度梯度，線性升溫 / 降溫
擴大均溫區(qū)長度
快速升溫和冷卻
全自動運行
數(shù)據(jù)記錄，用于質(zhì)量管理
設(shè)定值中繼控溫方式
選項(訂購時詳細標注要求)
提供一系列精密的數(shù)字控制器，多段編程和數(shù)據(jù)記錄儀，這些可以配備RS232，RS485或以太網(wǎng)通訊接口。
過溫保護
各種尺寸和材質(zhì)的工作管可選，如石英、陶瓷、金屬
L型支架，垂直使用
隔熱保溫塞和防輻射屏蔽塞防止熱量損失提高溫度均勻性
可控氣氛及真空組件
真空系統(tǒng)可選機械泵或渦輪分子泵，工作管內(nèi)徑60mm及以上
根據(jù)要求可選西門子SPS控制器，觸摸屏，質(zhì)量流量計
其他規(guī)格的工作管和加熱長度，請向我們咨詢
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型號 |
最高 溫度 （℃） |
外部尺寸 H×W×D* (mm) |
工作管 直徑 （mm） |
加熱 長度 (mm) |
重量** （kg） |
最大 功率 （W） |
電壓 （V） |
電流 （A） |
保險絲 （A） |
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AZ13/32/360 |
1350 |
990×1800×500 |
32 |
360 |
500 |
1500 |
400 (3P) |
3×4 |
3×16 |
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AZ13/50/430 |
1350 |
990×1800×500 |
50 |
430 |
550 |
2900 |
400 (3P) |
3×9 |
3×16 |
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AZ13/80/810 |
1350 |
990×1800×500 |
80 |
810 |
600 |
7300 |
400 (3P) |
3×12 |
3×16 |
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AZ13/110/1000 |
1350 |
1200×1800×520 |
110 |
1000 |
650 |
11300 |
400 (3P) |
3×19 |
3×25 |
※最高連續(xù)使用溫度應(yīng)低于最高溫度100℃
※*小型管式爐采用單獨的控制柜
※**最大重量包括真空泵
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